ייצור ה-EUV של ASML גדל מ-22 יחידות ב-2019 ל-42 יחידות ב-2021

על פי The Elec, ASML הודיעה לאחרונה בוועידה העולמית של מוליכים למחצה EUV Ecosystem 2022 כי מספר התקני EUV המיוצרים על ידי ASML גדל מ-22 בשנת 2019 ל-42 בשנת 2021 וצפוי לעלות על 50 השנה. הייצור יגדל עוד בשנה הבאה. גרסה ראשונית של מכשיר ה-High-NA EUV תהיה זמינה עד סוף השנה הבאה, עם דגם ייצור בסוף 2024 או בתחילת 2025.

בהודעת הרווח שלה לרבעון השלישי ב-19 באוקטובר, ASML אמרה: "בעסקי EUV High-NA, ASML קיבלה הזמנות נוספות עבור TWINSCAN EXE:5200; כל לקוחות EUV הגישו כעת פקודות High-NA." מכשיר ה-High-NA EUV הוא מכשיר המגדיל את הצמצם המספרי (NA) של העדשה עם יכולת איסוף אור מ-0.33 ל-0.55. עיבוד מעגלי מוליכים למחצה מעודנים יותר מאשר התקני EUV קיימים. רוב בתעשייה מסכימים שציוד High-NA חיוני לתהליכי 2nm.